特徵 ??

最大行程4m x 4m
以?性滑?或空?廨S承架??之定位平台
良好接地??防止??干?_
Z向震?涌蛇_奈米等?以下
最大速度可?5m/s
??手噩F精度1um或以下
位置回?系?解析度最低可?50nm 半??w??
自?踊?崴
FPD??
太?能?造??
PCB??
水刀??
?石切割??I
AOI?z?y??
工具?C