技术数据 TYFB-3600涡轮分子泵
高真空法兰（mm） 400 ISO-K
前级管道法兰（mm） 100 ISO-K
抽气速（L/S） 3600
压缩比 N2 >108
H2 >5×102
极限压强（Pa）帕 <2×10-6
电机转速（n/min） 12600
振动值 ≤0.15μm
启动时间（min） <10
停机时间（min） <20
建议采用的前级泵 30—70 L/S
冷却方式 水冷
风冷泵环境温度 ≤25℃
水冷泵冷却水温度 ≤20℃
水冷冷却水流量（L/min） 1
泵体烘烤温度 <120℃
安装方向 垂直±5°
泵重量（kg） ≈100