技术数据 TYFB-1600复合分子泵
高真空法兰（mm） 250CF 250 ISO-K
前级管道法兰（mm） 50KF
抽气速（L/S） 1600
压缩比 N2 >109
H2 >1×104
极限压强（Pa）帕 <8×10-8<5×10-7
电机转速（n/min） 24000
振动值 ≤0.15μm
启动时间（min） <6
建议采用的前级泵 15 L/S
冷却方式 水冷（风冷）
风冷泵环境温度 ≤25℃
水冷泵冷却水温度 ≤20℃
水冷冷却水流量（L/min） 1
泵体烘烤温度 <120℃
加热器功率（W） <700
加热器输入电压（V） AC220
安装方向 垂直±5°
泵重量（kg） ≈39