技术数据 TYFB-600复合分子泵
高真空法兰（mm） 150CF 160ISO-K
前级管道法兰（mm） 40KF
抽气速（L/S） 600
压缩比 N2 >109
H2 >8×103
极限压强（Pa）帕 <8×10-8<5×10-7
电机转速（n/min） 24000
振动值 ≤0.1μm
启动时间（min） <4.5
建议采用的前级泵 4—8 L/S
冷却方式 水冷（风冷）
风冷泵环境温度 ≤25℃
水冷泵冷却水温度 ≤20℃
水冷冷却水流量（L/min） 1
泵体烘烤温度 <120℃
加热器功率（W） <550
加热器输入电压（V） AC220
安装方向 垂直±5°
泵重量（kg） ≈29